半導體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份
半導體行業廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類成分：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、行業排放標準
三、半導體廢氣處理方法
一般半導體行業針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采用噴淋塔先對廢進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
由于每家企業具體產生的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度不同，所以采用的半導體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結合使用，具體處理方案可以咨詢我們，我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案。
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